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无尘布的测试方法,您知道吗?

来源:硕源科技  发布时间:2019-04-04   点击量:205

在市场上,无尘布品种多样,用途广泛,价格更是高低不平,客户在采购无尘布时主要通过无尘布的材质、吸收率等来评估无尘布性能和费用。




而在半导体行业的洁净室中对无尘布尘粒、离子、ESD等有很高的要求。硕源科技为此提供了一些评估无尘布的方法。


无尘布需进行严格测试以达到性能要求和污染控制标准,一般无尘布需进行以下测试:


1、 抗磨损性测试
通常,抗磨损性测试属于布料物理性质的测试。但在无尘布的测试中,因为磨损的过程会产生尘粒,因此,将无尘布的抗磨损性测试归纳为污染控制范围更合适。
*测试标准:抗磨损性越强越不容易产生尘粒。


2、 克重
根据ASTM-D-3776测试无尘布单位面积的重量
*参考测试标准:一般要求在150-300g/㎡


3、 吸液量和吸液速度
根据IEST-RP-CC004.3第8节要求,需测试无尘布的吸收量和吸收速率。
吸液量反映的是单位面积的无尘擦拭布的吸收液体的毫升数。
吸液速率是指无尘布吸收10ml液体所需的时间。
以上两种测量都须测量三次并计算平均值
*参考测试标准:吸液量一般不小于400g/㎡
吸液速度一般不大于1秒。


4、 IC测试
根据IEST-RP-CC004.3第7.2节要求,定性定量地测量无机阴阳离子含量。
*参考测试标准,在磁头行业,一般要求CL-≤0.03ug/c㎡; SO42-≤0.03ug/c㎡; NO3-≤0.03ugc㎡; Total:<1.0ug/c㎡


5、 NVR测试
根据IEST-RP-CC004.3第7.1节要求,测试单位面积上的无挥发性残留物。
NVR测试是将无尘布浸泡于一定量的溶剂中一定量的时间,然后将无尘布取出,测试溶于溶剂中的无挥发性残留物的质量。
*参考测试标准:在磁头行业,一般要求<3.0ug/c㎡


6、 LPC测试
根据IEST-RP-CC004.3第6.2.1节的要求,对无尘布进行LPC测试。
LPC可测试无尘布上的液态尘粒数。
LPC测试是将无尘布浸泡在一定量的DI水中,经过超声波振荡,检测DI水中的尘粒浓度。*参考测试标准:在磁头行业,一般要求<30counts/c㎡


7、 FTIR测试
傅立叶变化红外光谱测试
*参考测试标准:一般不允许有硅油、氨基化合物、增塑剂。


8、 GC测试
GC测试是用来分析无尘布上有机污染物种类和含量的一种方法。
*参考测试标准:在磁头行业,要求Total:<10ug

 

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